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皮拉尼传感器 皮拉尼(Pirani)真空计
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皮拉尼(Pirani)真空计是基于热传导原理的真空计,基于传统热阻的皮拉尼真空技术在国际上已较为成熟,并有典型的真空传感器产品。为了实现宽范围量程的真空计量,往往需要通过组合多个真空计来实现。但由于传统的真空计体积较大,而真空组合模块的体积又进一步限制了其应用。

  随着MEMS技术的发展,真空计微型化也成了当前的研究主流,采用MEMS技术实现微型MEMS的制作,缩小了模块的体积,在方便安装的同时,也更适合于不同要求的真空系统中的实际应用。

  中科院微电子所先导中心在微型MEMS皮拉尼真空计方面进行了大量研究,采用三层键合的MEMS平台工艺实现了不同量程皮拉尼真空计的融合,也提高了真空计的测量精度并拓展了其测量范围。近日其研究成果Study on Fusion Mechanisms for Sensitivity Improvement and Measurable Pressure Limit Extension of Pirani Vacuum Gauges with Multi Heat Sinks被Journal of Microelectro Mechanical Systems期刊收录(December 16, 2019),并被美国科技媒体VerticalNews的NanotechnologyWeekly正面报道(2020)。目前在该方面的研究还在继续深入中。皮拉尼传感器
这是一种压力传感器,其测量原理基于 气体 的热导率随气压发生的变化。也被称为热导率真空计。其工作范围介于 10 和 10-3 mbar 之间。通常用于 等离子设备

 
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