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真空传感器 一般来说 真空传感器HEIMANN真空传感器系列HVS包含硅微加工技术中的新型传感器芯片。硅批处理技术允许小型化和低成本大批量制造。如有特殊要求,可将标准测量范围从1E-5mbar扩展到1E-2mbar。 皮拉尼传感器数据表 电池供电设计示例
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